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パナソニックと東京精密、プラズマダイシング用レーザパターニング装置発売

パナソニックと東京精密、プラズマダイシング用レーザパターニング装置発売

  • マイナビニュース
  • 更新日:2018/03/13

パナソニック スマートファクトリーソリューションズ(以下、PSFS)と東京精密は、シリコンウエハーからダメージレスでチップを切り出すことが可能な「プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置」(AL300P)を共同開発し、受注を開始したと発表した。

AL300Pは、PSFS製プラズマダイシング装置(APX300)専用に開発されたレーザパターニング装置。プラズマダイシングの前工程でレジストなど

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